活性炭过滤器是纯水系统预处理常用的一种工艺，它选用滤料为非常多的微孔和巨大的比表面积的活性炭，具有很强的物理吸附能力。它的主要作用是吸附余氯以及有机物，同时对水中异味、胶体及色素等有较明显的吸附去除作用。

紫外线杀菌是纯水系统最常用的一种杀菌方法，是通过紫外线对水的照射进行的。紫外线按波长范围分A 波段 、B 波段、C波段 、V-UV波段。纯水系统消毒杀菌用的是 C 波段254nm紫外线，除TOC用的是V-UV波段185nm紫外线。

柠檬酸用于聚酰胺类复合膜的化学清洗并不有效，而且清洗费昂贵。更为特别的是，它有成为系统内微生物养分的缺点，引起生物污染。现在仍然使用柠檬酸作为反渗透清洗剂的主要原因是操作安全、络合性好、腐蚀性低。

通常，商业化制造反渗透膜元件的材质有两种，一种是醋酸纤维素（CA）、三醋酯纤维（CTA）或二者的混合材料，另外一种是聚酰胺（PA）。

超纯水电阻率18.2MΩ.cm（25℃）时，水中不含任何离子而且中性，但经过pH计测量出的结果显示偏酸（或偏碱）。会发生这种情况的主要原因有超纯水受到二氧化碳污染和检测准确度低。

功能水是近年正在迅猛发展的新技术，即在超纯水中溶入少许药剂或气体而使其洗净效果大为提高的水，例如在超纯水中溶入适量的氢气和臭氧。