多介质过滤器通过选择密度不同的两种或三种滤料，做到反冲洗后轻而粗的滤料在上层，细而重的滤料处于下层，形成上粗下细的较佳排列。滤料从粗到细，截污能力渐增，因而实现了整层滤料截污能力与残留杂质除去难度的最佳匹配。

一般情况下，在超滤系统前都设有预处理，旨在滤除容易造成超滤膜堵塞的大颗粒悬浮固体。常用的预处理有自清洗过滤器（盘式或网式）、筒式过滤器（滤芯式或滤袋式）、机械过滤器（滤料式或纤维束式）。预处理过滤精度按进水水源、水质而定。

灯管在使用过程中，内部的汞会慢慢释放到灯管内壁，因此会逐步影响灯管的紫外线强度。要保证紫外线系统的杀菌效果，必须定期更换紫外线灯管。

反渗透产水背压是指反渗透产水静态压力大于给水或浓水静态压力，背压损坏是反渗透膜元件使用中常见的故障之一，一旦发生则会对反渗透膜造成永久性损坏，无法修复。

活性炭过滤器是纯水系统预处理常用的一种工艺，它选用滤料为非常多的微孔和巨大的比表面积的活性炭，具有很强的物理吸附能力。它的主要作用是吸附余氯以及有机物，同时对水中异味、胶体及色素等有较明显的吸附去除作用。

紫外线杀菌是纯水系统最常用的一种杀菌方法，是通过紫外线对水的照射进行的。紫外线按波长范围分A 波段 、B 波段、C波段 、V-UV波段。纯水系统消毒杀菌用的是 C 波段254nm紫外线，除TOC用的是V-UV波段185nm紫外线。