在电子工业的生产工艺中，相当多的工序要进行化学处理，而电子产品的清洗和化学药剂的制备都直接或间接地要利用到纯水或超纯水。随着电子工业的发展，尤其是以超大规模集成电路为代表的半导体产业的发展，对纯水的水质提出了更高的要求，下表所列为美国材料测试协会（ASTM）根据半导体特性而制定的超纯水水质要求。